产品名称：四探针法成像电阻率测试仪

四探针法成像电阻率测试仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪
产品型号：GEST-201
一、产品概述
本仪器主要通过四探针法测试单晶硅电阻率，具有自动定位的三坐标自动测量系统，可以自由设置测量点数量，自动测试完成，可以对测试出的数据进行2D成像，是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。
仪器采用了zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试
三、主要配置
 1、高精度电阻测量仪：1台
 2、三坐标测量品台：1台
 3、测量电极：2组
 4、软件测量系统：1套
 5、笔记本：1台

四探针法成像电阻率测试仪

二、仪器构成：
本仪器主要组成部分有：
1、高精度电阻率测试仪
2、三坐标测试移动平台
3、测试探头
4、上位机软件测量成像系统
高精度电阻率测量仪：
    1、测量范围
1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)
1.2电导率：0.00005～10000 s/cm；
1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；
2、电压测量：
2.1量程0.01mV-2000 mV
2.2分辨力：10μV；
2.3?精度：±0.1% ；
2.4显示：触摸屏操作显示
3、恒流源：
3.1电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,
3.2电流误差：±0.5%
3.3各档连续可调
  三坐标测试移动品台：
   1、X轴Y轴移动行程：120MM
2、X轴Y轴zui小位移量：0.125MM
3、R轴zui小分度值：0.0125°C
四探针测试电极：
1、间距：1±0.01mm；
2、针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 
3、机械游移率：≤0.3％；
4、探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
5、?探针压力：5～16 牛顿(总力)；
上位机软件测量成像系统
1、测量方式：弧度测量、角度测量
2、测量点数：可以设定
3、测试数据：实时同步显示
4、2D成像：测试完成后，可以立体成像
5、数据导出：可以保存测试数据生成电子版本
6、测试软件界面如下：

四探针法成像电阻率测试仪

八、小测量试样测试架示意图
1、试样尺寸：φ10mm-φ50mm,长度100mm-300mm
2、试样固定：试样两端有弹簧加载，接触更紧密
3、测 量 端：测量段距离可调，默认50 mm
4、电极材质：黄铜，与试样接触为锥形
5、试样放置：操作简单，使用方便，一个人即可操作完成
九、大石墨电极测试支架：
1、试样尺寸：φ100mm--φ800mm,长度*高支持8m
2、电极材质：黄铜，锥形结构，有绝缘材料镶嵌把手
3、电压测量：有定位杆，对测量距离可进行调节
十、粉末测试专用恒加载装置及测试电极：
1、电极是双柱型、立式结构
2、加载机构：步进电极
3、加载方式：自动加载
4、负荷传感器：10KN
5、负荷显示方式：力值、压强
6、负荷加载:设定好指定的负荷后,自动加载并恒负荷保持
7、试验流程：把被测试样安装并固定好后，设定好要加载的负荷和保持时间，点击开始后，自动加载，到达设定的负荷后自动停止，到达设定的时间后，自动返回初始位。
8、样品量和电极尺寸，依据客户要求协商确定。
9、套筒内经:16MM

GEST-122A
满足标准：
       GB/T 24525-2009 炭素材料电阻率测定方法
       GB/T 24521-2009 焦炭电阻率测定方法
       YB/T 120-1997 炭素材料电阻率测定方法
  YS T 587.6-2006 炭阳极用煅后石油焦检测方法 第6部分：粉末电阻率的测定
一、 仪器的用途及特点
    本仪器是我公司研制的一种自动化程度很高的便携式测试仪，专门用于测量石墨电极的直流电阻及电阻率。仪器采用高性能单片机控制，可实现测试过程智能化，操作简单方便、精度高、可以显示цΩ电阻值，测试速度快，复测性好、读数直观，是符合规程要求的理想的专用仪器，大大方便了试验项目的开展，提高了工作效率。

四探针法成像电阻率测试仪