产品名称：探针表面电阻测试仪

探针表面电阻测试仪

四探针电阻率测试仪

产品名称：四探针电阻率测试仪

产品型号：GEST-126

产品概述

该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准,并参考美国 ASTM 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

 仪器主要技术指标：                                                            

一、 测量范围：

电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

方块电阻：0.0001～200000Ω/ (可扩展)

电导率：0.00005～10000 s/cm；

电阻：0.00001～20000Ω.cm；

 二、 电压测量：

1． 量程0.01mV-2000 mV

2．  分辨力：10μV；

3．  输入阻抗＞1000MΩ；

4．  精度：±0.1% ；

5． 显示：触摸屏操作显示

探针表面电阻测试仪

操作方式
体积、表面电阻率测定仪是一台能测量极高电阻和非常微弱电流的精密仪器是因为机器内有一个超高性能的静电计放大器，尽管仪器有多种保护措施，这个超高性能的静电放大器在以下这些不正确操作使用中均可能因过大电流冲击、过电压或放电等长久损坏或降低其测量精度与性能。
主要应用范围
材料高阻测试测量如防静电产品（防静电鞋、防静电塑料橡胶制品、计算机房防静电活动地板等）电阻值的检测；
材料体电阻(率)和表面电阻(率)测量；
电化学和材料测试,以及物理,光学和材料研究;
微弱电流测量如光电效应和器件暗电流测量。    
体积、表面电阻率测定仪是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I，通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算，然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值，即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化，其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流Ｉ的变化而变，所以, 即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大，其测量精度很高。从理论上讲其误差可以做到零。而实际误差可以做到千分之几或万分之几。

探针表面电阻测试仪

试验程序
试样按本标准第7章、第8章、第9章、第 10 章进行准备。
测量试样及电极的尺寸、表面间隙的宽度g（两电极之间距离），**}lj士1%。然而，如有必要，对薄试样可在有关的规范中规定不同的**度。
为测定体积电阻率，应按照有关的规范测量每个试样的平均厚度，其厚度测量点应均匀地分布在由被保护电极所覆盖的整个面积上。
注：对于薄试样无论如何在加上电极前测量厚度。
一般说来，应与条件处理时相同的湿度（漫在液体中的条件处理除外）和温度下测试电阻。但有时也可在停止条件处理后的规定时间内进行测量。
四探针电阻率测试仪测试范围
ASTM D257-2014
绝缘材料直流电阻或电导的标准试验方法
Standard Test Methods for DC Resistance or Conductance of Insulating Materials
绝缘材料直流电阻或电导的标准试验方法1
本标准是以固定代号D257发布的。其后的数字表示原文本正式通过的年号；在有修订的情况下，为上一次的修订年号；圆括号中数字为上一次重新确认的年号。上标符号（ε）表示对上次修改或重新确定的版本有编辑上的修改。

三、 恒流源：

1．  电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

2.    电流误差：±0.5%

3.   各档连续可调

四、 四探针测试电极：

1. 间距：1±0.01mm；
    2.针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
    3. 机械游移率：≤0.3％；
    4.探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
    5. 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

五、数据打印：

可对测试结果进行打印，显示结果为：电压、电流、电阻、电阻率

六、试验模式：

     手动实验：选择恒流源，在设定的恒流源下测试

自动试验：自动扫描合适的量程范围测试

微机测试：连接电脑通过软件进行测试

探针表面电阻测试仪

八、标准配置：

1、主机：1台

2、联想电脑：1台

3、四探针测试台：1套

4、四探针探头（电极）：一套

5、测试软件：一套

6、数据线：若干

材料样本或电容器的电阻或电导通过在规定条件下测量电流或电压下降而得出。通过使用合适的电极体系，可分别测量表面和体积电阻或电导。当要求的样本和电极尺寸已知时，此时可以计算出电阻或电导。
绝缘材料用于电子系统彼此和与地面之间隔离，该材料能提供零部件的机械支撑。由于此用途，通常要求具有尽可能高的绝缘电阻，以与可接受的机械、化学和耐热性能一致。因为绝缘电阻或电导组合了体积和表面电阻或电导，当实际使用时，要求试验样本和电**有相同的形式，此时的测量值是非常有用的。表面电阻或电导随着湿度发生快速变化，然而体积电阻或电导则稍微变化，尽管总的变化在一些变化可能更大。
电阻或电导可用于间接预测某些材料的低频率电介质击穿和损耗因数性能。电阻或电导通常作为湿度含量，固化程度，机械连续性或不同类型老化的间接测量方式。这些间接测量的效用取决于通过理论或经验研究确立的相关度。表面电阻的降低可导致因为电场强度降低而发生电介质击穿电压的增加，或者由于应力面积的增加而发生电介质击穿电压的降低。
所有的电介质电阻或电导都取决于电化时间长短和施加的电压值（除了普通的环境变量之外）。这些因素必须已知，同时报告，以使得电阻或电导测量值有意义。在电绝缘材料工业中，形容词“表观”通常适用于在任意选择电化时间条件下获得的电阻值。