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金属电阻率测试仪四探针
四探针电阻率测试仪
产品名称:四探针电阻率测试仪
产品型号:GEST-126
产品概述
该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准,并参考美国 ASTM 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试
仪器主要技术指标:
一、 测量范围:
电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)
方块电阻:0.0001~200000Ω/ (可扩展)
电导率:0.00005~10000 s/cm;
电阻:0.00001~20000Ω.cm;
二、 电压测量:
1. 量程0.01mV-2000 mV
2. 分辨力:10μV;
3. 输入阻抗>1000MΩ;
4. 精度:±0.1% ;
5. 显示:触摸屏操作显示
金属电阻率测试仪四探针
操作方式
体积、表面电阻率测定仪是一台能测量极高电阻和非常微弱电流的精密仪器是因为机器内有一个超高性能的静电计放大器,尽管仪器有多种保护措施,这个超高性能的静电放大器在以下这些不正确操作使用中均可能因过大电流冲击、过电压或放电等长久损坏或降低其测量精度与性能。
主要应用范围
材料高阻测试测量如防静电产品(防静电鞋、防静电塑料橡胶制品、计算机房防静电活动地板等)电阻值的检测;
材料体电阻(率)和表面电阻(率)测量;
电化学和材料测试,以及物理,光学和材料研究;
微弱电流测量如光电效应和器件暗电流测量。
体积、表面电阻率测定仪是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I,通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算,然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值,即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化,其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流I的变化而变,所以, 即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大,其测量精度很高。从理论上讲其误差可以做到零。而实际误差可以做到千分之几或万分之几。
金属电阻率测试仪四探针
备注:
等级测量时(测电阻率),精度<3%
电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内
按照硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84)及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准,本机配置232电脑接口及USB两种接口,本机结合--采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量,更加准确.
本仪器本仪器采用四探针单电测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,运输**、使用方便;选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成报表;本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示,同时显示液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
石墨电极/粉末电阻率测定仪
GEST-127
粉末测试专用恒加载装置及测试电极:
电极是双柱型、立式结构
加载机构:步进电极
加载方式:自动加载
负荷传感器:10KN
负荷显示方式:力值、压强
负荷加载:设定好指定的负荷后,自动加载并恒负荷保持
试验流程:把被测试样安装并固定好后,设定好要加载的负荷和保持时间,点击开始后,自动加载,到达设定的负荷后自动停止,到达设定的时间后,自动返回初始位。
样品量和电极尺寸,依据客户要求协商确定。
套筒内经:16MM
四探针电阻率测试仪
三、 恒流源:
1. 电流输出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,
2. 电流误差:±0.5%
3. 各档连续可调
四、 四探针测试电极:
1. 间距:1±0.01mm;
2.针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
3. 机械游移率:≤0.3%;
4.探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
5. 探针压力:5~16 牛顿(总力);
五、数据打印:
可对测试结果进行打印,显示结果为:电压、电流、电阻、电阻率
六、试验模式:
手动实验:选择恒流源,在设定的恒流源下测试
自动试验:自动扫描合适的量程范围测试
微机测试:连接电脑通过软件进行测试
金属电阻率测试仪四探针
八、标准配置:
1、主机:1台
2、联想电脑:1台
3、四探针测试台:1套
4、四探针探头(电极):一套
5、测试软件:一套
6、数据线:若干