产品名称：四探针方阻电阻率测试仪

四探针方阻电阻率测试仪

四探针电阻率测试仪

产品名称：四探针电阻率测试仪

产品型号：GEST-126

产品概述

该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准,并参考美国 ASTM 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

 仪器主要技术指标：                                                            

一、 测量范围：

电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

方块电阻：0.0001～200000Ω/ (可扩展)

电导率：0.00005～10000 s/cm；

电阻：0.00001～20000Ω.cm；

 二、 电压测量：

1． 量程0.01mV-2000 mV

2．  分辨力：10μV；

3．  输入阻抗＞1000MΩ；

4．  精度：±0.1% ；

5． 显示：触摸屏操作显示

四探针方阻电阻率测试仪

操作方式
体积、表面电阻率测定仪是一台能测量极高电阻和非常微弱电流的精密仪器是因为机器内有一个超高性能的静电计放大器，尽管仪器有多种保护措施，这个超高性能的静电放大器在以下这些不正确操作使用中均可能因过大电流冲击、过电压或放电等长久损坏或降低其测量精度与性能。
主要应用范围
材料高阻测试测量如防静电产品（防静电鞋、防静电塑料橡胶制品、计算机房防静电活动地板等）电阻值的检测；
材料体电阻(率)和表面电阻(率)测量；
电化学和材料测试,以及物理,光学和材料研究;
微弱电流测量如光电效应和器件暗电流测量。    
体积、表面电阻率测定仪是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I，通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算，然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值，即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化，其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流Ｉ的变化而变，所以, 即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大，其测量精度很高。从理论上讲其误差可以做到零。而实际误差可以做到千分之几或万分之几。

四探针方阻电阻率测试仪

三、 恒流源：

1．  电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

2.    电流误差：±0.5%

3.   各档连续可调

四、 四探针测试电极：

1. 间距：1±0.01mm；
    2.针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
    3. 机械游移率：≤0.3％；
    4.探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
    5. 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

五、数据打印：

可对测试结果进行打印，显示结果为：电压、电流、电阻、电阻率

六、试验模式：

     手动实验：选择恒流源，在设定的恒流源下测试

自动试验：自动扫描合适的量程范围测试

微机测试：连接电脑通过软件进行测试

四探针方阻电阻率测试仪

八、标准配置：

1、主机：1台

2、联想电脑：1台

3、四探针测试台：1套

4、四探针探头（电极）：一套

5、测试软件：一套

6、数据线：若干

9、试样处置
电极之间或测量电极与大地之间的杂散电流对于测试仪器的读数没有明显的影响这一点很重要。 测试时加电极到试样上和安放试样时均要极为小心，以免可能产生对测试结果有不佳影响的杂散电流通道。
测量表面电阻时，不要清洗表面，除非另有协议或规定。 除了同二材料的另 一个试样的未被触模过 的表面可触及被测试样外，表面被测部分不应被任何东西触及。
10、条件处理
试样的处理条件取决于被试材料，这些条件应在材料规范中规定。
推荐按 GB/T 10580一2003 进行条件处理；由各种盐溶液所产生的相对温度在 IEC 60260 中给出。
可以采用机械蒸发系统。
体积电阻率和表面电阻率都对温度变化特别敏感。 这种变化是指数式的。 因此必须在规定的条件 下来测量试样的体积电阻和表面电阻。 由于水分被吸收到电介质内是相对缓慢的过程，因此测定温度 对体积电阻率的影响需要延长处理期。 吸收水分后通常会降低体积电阻。 有些试样可能需要处理数月 才能达到平衡。
11、试验程序
试样按本标准第7章、第8章、第9章、第 10 章进行准备。
测量试样及电极的尺寸、表面间隙的宽度g（两电极之间距离），**}lj士1%。然而，如有必要，对薄试样可在有关的规范中规定不同的**度。
为测定体积电阻率，应按照有关的规范测量每个试样的平均厚度，其厚度测量点应均匀地分布在由被保护电极所覆盖的整个面积上。
注：对于薄试样无论如何在加上电极前测量厚度。